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年度報告書
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半導体技術ロードマップ2001年版
STRJワークショップでの講演スライドがご覧になれます。
STRJ-2001 ワークショップ発表原稿
序言
プログラム
1月15日(火)
開催の辞
IRC/ORTC
設計
テスト及びテスト装置
リソグラフィ
プロセスインテグレーション、デバイス、及び構造(1)
プロセスインテグレーション、デバイス、及び構造(2)
パネル討論(スコープ)
1月16日(水)
配線/配線・実装クロスカット
アセンブリ & パッケージング
フロントエンドプロセス
モデリング & シミュレーション
計測(1)
計測(2)
欠陥低減(1)
欠陥低減(2)
ファクトリーインテグレーション
環境、安全、健康