半導体技術ロードマップ専門委員会

1999年度 STRJ年度報告書

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序章・第１章

  • 序文
  • 要約

第２章

  • 設計
  • テスト
  • フロントエンドプロセス
  • 配線
  • リソグラフィ
  • デバイス（PIDS）
  • 実装
  • ファクトリインテグレーション
  • ES&H
  • モデリング&シミュレーション
  • 計測技術
  • 欠陥低減
  • SoC設計
  • 共通技術指標特性

（注）この報告書は、通商産業省「平成11年度高度技術集約型産業研究開発調査」の活動結果をまとめたものです。

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