DFM(design for manufacturability:製造性考慮設計)用語集に新たに5件が追加されました

用語集追加に際して

2014年8月22日
一般社団法人 電子情報技術産業協会
半導体生産技術専門委員会

半導体微細化が進み、近年種々の新規デバイス構造、材料、リソグラフィ技術が検討されてきました。当委員会では学会や論文誌を調査し、前回2011年の公開以降の技術開発の進展から注目度が高く追加すべき用語5点を選び、本用語集に追加することとしました。用語集の内容には、まだ不十分のところがありますが、更に改訂を加えてより良い用語集にしていく所存です。

DFM(design for manufacturability:製造性考慮設計)用語集(追加分)(280 KB)

JEITA、半導体生産技術専門委員会DFM小委員会

主査   小林幸子   (株)東芝
副主査   大内智彦   ルネサスエレクトロニクス(株)
委員   八尾輝芳   富士通セミコンダクター(株)
委員   佐藤隆   (株)東芝
客員   有馬澄佳   筑波大学大学院
オブザーバ   吉岡信行   大日本印刷(株)
事務局   幾見宣之   (一社)電子情報技術産業協会
事務局   細川照彦   (一社)電子情報技術産業協会
事務局   吉井由香   (一社)電子情報技術産業協会

2014年3月現在

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