半導体技術ロードマップ専門委員会
2003年度 STRJ年度報告書
PDFファイルダウンロード
第１部 半導体技術ロードマップの部
- 活動の概要
- 第１章 IRC(国際ロードマップ委員会)国際活動・STRJ国内活動
- 第２章 設計タスクフォース
- 第３章 WG1 設計
- 第４章 WG2 テスト
- 第５章 WG3 FEP (フロントエンドプロセス)
- 第６章 WG4 配線 (881KB)
- 第７章 WG5 リソグラフィ
- 第８章 WG6 PIDS (プロセスインテグレーション・デバイスストラクチャ)
- 第９章 WG7 実装
- 第１０章 WG8 ファクトリ・インテグレーション
- 第１１章 WG9 ES&H (環境・安全・健康)
- 第１２章 WG10 モデリング&シミュレーション
- 第１３章 WG11 メトロロジ (計測)
- 第１４章 WG11 歩留向上
- 第１５章 故障解析タスクフォース
第２部 半導体産業・技術開発の経済性検討委員会の部
- 第１章 欠道の概要
-
第２章 講演資料集
(1)「付加価値創造のための製品開発：高収益企業の戦略パターン」
延岡健太郎 氏（神戸大学教授）
(2)「技術革新における大企業・ベンチャー・大学の果たす役割l」
Robert Kneller 氏（東大先端研教授）
(3)「トヨタ生産システム汎用化による狭小力低下傾向：家電・半導体産業の事例から」
中馬宏之 氏（一橋大イノベーションセンター教授）
「LLCと産業自治（Limited Liability Company & Industry Automation）：露光装置産業での未来潮流」
斎藤洵 氏（東大先端研/EUVA/ニコン）
