半導体技術ロードマップ専門委員会
2005年度 STRJ年度報告書
第１部 半導体技術ロードマップの部
- 活動の概要 (160KB)
- 第１章 IRC(国際ロードマップ委員会)国際活動・STRJ国内活動 (678KB)
- 第２章 設計タスクフォース (2,066KB)
- 第３章 WG1 設計 (1,683KB)
- 第４章 WG2 テスト (2,593KB)
- 第５章 WG3 FEP (フロントエンドプロセス) (1,150KB)
- 第６章 WG4 配線 (3,434KB)
- 第７章 WG5 リソグラフィ (2,282KB)
- 第８章 WG6 PIDS (プロセスインテグレーション・デバイスストラクチャ) (956KB)
- 第９章 WG7 実装 (1,243KB)
- 第１０章 WG8 ファクトリ・インテグレーション (1,643KB)
- 第１１章 WG9 ES&H (環境・安全・健康) (1,124KB)
- 第１２章 WG10 モデリング&シミュレーション (837KB)
- 第１３章 WG11 メトロロジ (計測) (3,054KB)
- 第１４章 WG11 歩留向上 (859KB)
- 第１５章 故障解析タスクフォース (1,814KB)
第２部 半導体産業・技術開発の経済性検討委員会の部
