JEITA 半導体部会
用語集追加に際して
2014年8月22日
一般社団法人 電子情報技術産業協会
半導体生産技術専門委員会
半導体微細化が進み、近年種々の新規デバイス構造、材料、リソグラフィ技術が検討されてきました。当委員会では学会や論文誌を調査し、前回2011年の公開以降の技術開発の進展から注目度が高く追加すべき用語５点を選び、本用語集に追加することとしました。用語集の内容には、まだ不十分のところがありますが、更に改訂を加えてより良い用語集にしていく所存です。
DFM（design for manufacturability：製造性考慮設計）用語集(追加分)（280 KB）
JEITA、半導体生産技術専門委員会DFM小委員会
| 主査 | 小林幸子 | (株)東芝 |
| 副主査 | 大内智彦 | ルネサスエレクトロニクス(株) |
| 委員 | 八尾輝芳 | 富士通セミコンダクター(株) |
| 委員 | 佐藤隆 | (株)東芝 |
| 客員 | 有馬澄佳 | 筑波大学大学院 |
| オブザーバ | 吉岡信行 | 大日本印刷(株) |
| 事務局 | 幾見宣之 | (一社)電子情報技術産業協会 |
| 事務局 | 細川照彦 | (一社)電子情報技術産業協会 |
| 事務局 | 吉井由香 | (一社)電子情報技術産業協会 |
2014年3月現在
