LSI配線の電流密度限界

LSI配線の電流密度限界

トランジスタの高集積化に伴い、配線層は多層化の傾向にあります。今や10層配線は珍しくありません。 また微細化に伴い、一つのコンタクトを流れる電流密度も、加速度的に増大しています。 これは、例えば指1本に200万アンペアの電流が流れる事に相当します。

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