トランジスタの性能を決定するゲート電極の寸法も進化しています。0.13μmくらいまでは、単純微細化により、高速性、 高信頼性が確保されていましたが、その後の微細化においては、課題が大きく、新材料や新構造の採用まで含めた、 トランジスタ開発の重要性が増して来ました。
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