JEITA 半導体部会
第3回となる本年度は、3名、3組織が受賞し、5月27日の定時社員総会後に表彰式が行なわれ、半導体部会は、”半導体におけるPFC排出削減の推進の功績”が受賞対象となりました。
表彰事業:［PFC排出量削減推進による地球温暖化抑制への貢献］
対象委員会: 半導体環境委員会・PFC専門委員会・半導体地球温暖化対策特別委員会
地球温暖化は現在世界が直面している深刻な問題のひとつと広く認識されております。
半導体業界に関しては、京都議定書で温室効果物質として指定されているPFCガス、液体PFCを必須の材料として製造工程で使用しておりますが、近年、半導体製品の大幅な生産増および製品の微細化や高性能化に伴う工程数増加に伴ってPFCガス、液体PFCの使用量も大幅に増加すると見込まれていました。
こうした状況の下、JEITA半導体環境委員会（加盟18社 2010年度）では独自に2010年のPFC排出量の自主削減目標を掲げて活動を推進し、生産量が1995年比で230％に増加したにも関わらず、排出量削減目標10％削減を大きく上回る50.6％削減を達成することができました。
更には、液体PFC排出量も1995年比で目標60％削減を大きく上回る96％削減を達成いたしました。
大きな成果を生み出した要因は、単に使用量の削減にとどまることなく、高効率のPFC分解装置導入や低GWP(地球温暖化係数)ガスへの代替化など半導体製造装置産業をも巻き込んだ積極的な技術改善活動を推進したことに依ります。
WSC(世界半導体会議:日本、EU、韓国、米国、チャイニーズタイペイを含む)の成果(推計32％削減)と比較しても際立った貢献となりました。
