半導体技術ロードマップ専門委員会
2006年度 STRJ年度報告書
半導体技術ロードマップの部
- 第１章 IRC(国際ロードマップ委員会)国際活動・STRJ国内活動 (608KB)
- 第２章 設計タスクフォース (940KB)
- 第３章 WG1 設計 (1,105KB)
- 第４章 WG2 テスト (1,614KB)
- 第５章 WG3 FEP (フロントエンドプロセス) (492KB)
- 第６章 WG4 配線 (3,452KB)
- 第７章 WG5 リソグラフィ (1,778KB)
- 第８章 WG6 PIDS (プロセスインテグレーション・デバイスストラクチャ) (713KB)
- 第９章 WG7 実装 (1,094KB)
- 第１０章 WG8 ファクトリ・インテグレーション (1,259KB)
- 第１１章 WG9 ES&H (環境・安全・健康) (1,023KB)
- 第１２章 WG10 モデリング&シミュレーション (650KB)
- 第１３章 WG11 メトロロジ (計測) (1,534KB)
- 第１４章 WG11 歩留向上 (11,789KB)
- 第１５章 WG12 ＥＲＤ (847KB)
- 第１６章 故障解析タスクフォース (2,070KB)
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第１７章 経済性検討小委員会 講演資料
- 「半導体の生産技術」
阿刀田 伸史 氏（独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） : 2006.7.21講演) (4,952KB)
- 「米国の科学技術政策」
畑 次郎 氏 (元東京エレクロトン総合研究所長： 2006.9.1講演) (711KB)
- 「ITRS under the Increasing Complexity - In Search of a "Global Brain" -」
中馬 宏之 教授(一橋大学： 2007.3.9 STRJワークショップにて講演) (16,259KB)
