JEITA 半導体部会

半導体技術ロードマップ専門委員会

2009年度 STRJ年度報告書

• 巻頭言 (123KB)
• 半導体技術ロードマップ専門委員会メンバー (315KB)

半導体技術ロードマップの部

• 第１章 IRC(国際ロードマップ委員会)国際活動・STRJ国内活動 (948KB)
• 第２章 WG1　設計 (723KB)
• 第３章 WG2　テスト (933KB)
• 第４章 WG3　FEP (フロントエンドプロセス) (924KB)
• 第５章 WG4　配線 (854KB)
• 第６章 WG5　リソグラフィ (1,035KB)
• 第７章 WG6　PIDS (プロセスインテグレーション・デバイスストラクチャ) (846KB)
• 第８章 WG7　実装 (1,016KB)
• 第９章 WG8　ファクトリ・インテグレーション (1,018KB)
• 第１０章 WG9　ES&H (環境・安全・健康) (263KB)
• 第１１章 WG10　モデリング&シミュレーション (815KB)
• 第１２章 WG14　メトロロジ (計測) (2,037KB)
• 第１３章 WG11　歩留向上 (1,016KB)
• 第１４章 WG12　ＥＲＤ (598KB)
• 第１５章 WG13　ＥＲＭ (1,072KB)

• 外部発表リスト (114KB)

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