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半導体技術ロードマップ専門委員会
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年度報告書
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2007年度 STRJ年度報告書
巻頭言 (164KB)
半導体技術ロードマップ専門委員会メンバー (207KB)
半導体技術ロードマップの部
第1章 IRC(国際ロードマップ委員会)国際活動・STRJ国内活動 (592KB)
第2章 設計タスクフォース (1,425KB)
第3章 WG1 設計 (865KB)
第4章 WG2 テスト (873KB)
第5章 WG3 FEP (フロントエンドプロセス) (590KB)
第6章 WG4 配線 (1,831KB)
第7章 WG5 リソグラフィ (674KB)
第8章 WG6 PIDS (プロセスインテグレーション・デバイスストラクチャ) (673KB)
第9章 WG7 実装 (1,399KB)
第10章 WG8 ファクトリ・インテグレーション (858KB)
第11章 WG9 ES&H (環境・安全・健康) (783KB)
第12章 WG10 モデリング&シミュレーション (477KB)
第13章 WG11 メトロロジ (計測) (2,485KB)
第14章 WG11 歩留向上 (984KB)
第15章 WG12 ERD (915KB)
第16章 WG13 ERM (1,855KB)
第17章 故障解析タスクフォース (970KB)
外部発表リスト (173KB)