JEITA 半導体部会

半導体技術ロードマップ専門委員会

半導体技術ロードマップ2004年版

STRJワークショップでの講演スライドがご覧になれます。

『ITRS2004　Updateに見る今後のLSI技術の方向性』

3/3　STRJ WS 「半導体技術ロードマップ専門委員会」 第一部

• STRJ の活動概要
  増原 利明 氏 (STRJ委員長： ASET)
• International Roadmap Committee (IRC)「ITRS 2004 Updateの概要」
  石内 秀美 （STRJ副委員長： 東芝）
• 設計タスクフォース「低電力SoCのロードマップ　−Design for Manufacturing検討の第１歩−」
  浅田 善己 （設計TFサブリーダ： STARC）
• 特別講演：「ユビキタス･エレクトロニクスに向けた低消費電力設計技術と有機トランジスタ回路」
  桜井 貴康 氏 （東京大学教授）
• 設計WG「モバイル・プラットフォームSoCモデルと設計生産性向上のためのポテンシャル解決策」
  山本 一郎 （WG1リーダ： 沖電気）
• テストWG「DFTとATEとの更なる融合　−テストコスト削減のためのチップ設計からテスティングまで−」
  西村 安正 （WG2リーダ： ルネサステクノロジ）
• Process-Integration and Device Structures (PIDS) WG「2005年版ITRS作成に向けて（2003年版の再考）　−現実路線への回帰−」
  杉井 寿博 （WG6リーダ： 富士通）
• 特別講演：「Emerging Research Devices−シリコンベースのナノデバイス技術−」
  平本 俊郎 氏 （WG6特別委員： 東京大学教授）
• Front-End Processes (FEP) WG「ウェーハ大口径化　−300mm化の経緯と450mm化に向けての課題−」
  窪田 通孝 (WG3リーダ： ソニー)
  渡辺 正晴 (WG3特別委員： ニューフレアテクノロジ)
  北島 洋 (WG3委員： NECエレクトロニクス)
• 特別講演：「Technical Issues for the Future Silicon Wafers」
  高田 清司 氏 （信越半導体顧問）
• モデリング/シミュレーションWG「Ｍ＆Ｓ技術でバラツキ問題にどう応えるか　−モデルへの要求精度から見たMOSFET 特性へのバラツキの影響−」
  和田 哲典 （WG10リーダ： Selete）
• 実装WG「半導体パッケージの高密度実装化」
  春田 亮 （WG7リーダ： ルネサステクノロジ）

3/4 STRJ WS 「半導体技術ロードマップ専門委員会」 第二部」

• リソグラフィWG「45nm以降に向けたリソグラフィ技術　−ArF液浸への期待とその後の展開−」
  羽入 勇 （WG5サブリーダ： 富士通）
• 特別講演：「EUV露光技術の現状と課題」
  寺澤 恒男 氏 （WG5委員： ASET）
• 配線WG「微細Cu/Low-k配線の課題と対策」
  上野 和良 （WG4委員： NECエレクトロニクス）
• メトロロジ／歩留向上WG「ウェーハ環境汚染制御−信頼性と歩留まりを制するもの、それは「汚染制御」−」
  津金　賢 （WG11-WECCサブWGリーダ： 日立）
• リソグラフィ／メトロロジ クロスカット活動報告「LER/LWR計測標準化　−65nm以降のデバイスパフォーマンスの決め手−」
  藤井 眞治 （WG11委員： 松下）
• 故障解析技術タスクフォース「故障解析技術TF活動報告 2004年度」二川　清(故障解析技術TFリーダ： NECエレクトロニクス)
  益子 洋治(故障解析技術TFサブリーダ： ルネサステクノロジ)
• ファクトリインテグレーションWG「能動的な工場の可視化」
  本間　三智夫 （WG8リーダ： NECエレクトロニクス）
• ファクトリインテグレーション／ES&Hクロスカット活動報告「見える管理の出来る工場のES&H　−省エネルギの検討−」
  矢島 比呂海 （WG8委員： 東芝）
• ES&H WG「半導体製造プロセスに沿った環境負荷の定量評価法−JEITA標準180nmロジックプロセスのLCA評価結果−」
  青山 純一 (WG9リーダ： ソニー)

3/4(金) 「半導体産業・技術開発の経済性検討小委員会」の部

(協賛) 一橋大イノベーション研究センター、半導体産業研究所（SIRIJ）

• 「元気が出る原価管理　−ソフトのニーズ・会計原理の拡張−」
  尾畑 裕 氏 （STRJ特別委員： 一橋大学教授）
• 「元気が出る原価管理システム紹介」
  尾畑 裕 氏 （STRJ特別委員： 一橋大学教授）

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