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アプリケーションを支える技術トピックス
1) PND:
小型の携帯ナビゲーションシステム
2) 微細加工:
半導体はナノスケールの加工を行っています
3) 大口径化が進むSiウエハ:
生産性の大幅な向上を目指して!
4) スマートフォン:
スマートフォンの新たな挑戦
5) 半導体ストレージ:
急成長するNANDフラッシュ
6) 加速する極端紫外線リソグラフィ技術:
LSI微細化を担う露光技術として期待!
7) LED(発光ダイオード):
照明にも用途を拡大
8) 太陽電池:
新しいエネルギー源