JEITA 半導体部会

半導体技術ロードマップ専門委員会

半導体技術ロードマップ2007年版

STRJワークショップでの講演スライドがご覧になれます。

『ITRS 2007 に見る今後のLSI技術の方向性』

3/6 STRJ WS 「半導体技術ロードマップ専門委員会」 第一部

• International Roadmap Committee (IRC)「ITRS 2007の概要」
  石内　秀美　(STRJ委員長： 東芝)
• 設計タスクフォース「配線性能とＳＯＣの性能との関係　−ＩＴＲＳの配線性能から見たムーアの法則の限界　−」
  石橋　孝一郎　(設計TFリーダー：ルネサステクノロジ)
• 設計WG「SOC設計技術ロードマップ　−論理検証と物理設計の生産性向上の課題と解決策−」
  隅谷　三喜夫　(WG1リーダー：松下電器産業)
• テストWG「テスト技術ロードマップ　−DFTとATEとの融合による品質とコストの両立−」
  西村　安正　(WG2リーダー：ルネサステクノロジ)
• 特別講演「スピンMOSFETとその高機能ロジックへの応用−電荷とスピンの融合による新しい高性能・高機能集積回路技術−」
  菅原　聡　(東京工業大学)
• 特別講演「機能性酸化物を用いた不揮発性ランダムアクセスメモリの開発−強相関電子系酸化物材料のエレクトロニクス応用からサステナビリティ技術まで−」
  秋永　広幸　(産業技術総合研究所)
• 特別講演「カーボンナノチューブFETの現状と将来展望」
  浅井　哲也　(北海道大学)
• 特別講演「カーボンナノチューブFETの現状と将来展望」
  水谷　孝　(名古屋大学)
• Process-Integration and　Device　 Structures (PIDS) WG「ロジックおよびメモリデバイスのスケーリングトレンド」
  今井　清隆　(WG6リーダー：NECエレクトロニクス)
• Emerging　Research　Deviceｓ(ERD)WG「新探究デバイス　−Beyond CMOSの位置付け−」
  平本　俊郎　(WG12リーダー：東京大学)
• Emerging　Research　Materials(ERM)WG「新探究材料　−新材料によるブレークスルーへの挑戦−」
  粟野　祐二　(WG13：富士通)
• Front-End　Processes(FEP)WG「ロードマップに見るフロントエンドプロセスの危機と新技術への挑戦」
  北島　洋　(WG3リーダー：NECエレクトロニクス)

3/7　STRJ WS 「半導体技術ロードマップ専門委員会」 第二部

• リソグラフィWG「コストへの挑戦　−多重露光からEUVLへ−」
  東川　巌　(WG5リーダー：東芝)
• 配線WG「配線技術ロードマップ　−微細化の深耕とBeyond Cu/Low-kの展望−」
  宮�普@博史　(WG4リーダー：ルネサステクノロジ)
• メトロロジーWG「Metrologyの現状と課題のレビュー」
  河村　栄一　(WG11サブリーダー：富士通)
• 歩留向上WG「見えない化進行の中での歩留向上　−微細化による歩留技術のパラダイムシフト−」
  桑原　純夫　(WG11リーダー：NECエレクトロニクス)
• 実装WG「ＳｉＰの現在と将来」
  中島　宏文 (WG7サブリーダー：NECエレクトロニクス)
• FI WG「工場の能動的可視化と生産性ロスの削減−Next Generation Factory (NGF)−」
  平井　都志也　(WG8リーダー：ソニー)
• 特別講演「生産性向上を目指す次世代生産システム」
  増井　知幸　(半導体先端テクノロジーズ)
• ES＆H WG「半導体の環境課題と地球温暖化対策　−半導体工場省エネガイドについて−」
  遠峰　徹　(WG9委員：セイコーエプソン)
• 故障解析技術タスクフォース「故障解析関連データの標準化」
  寺田　浩敏　(故障解析技術TF特別委員：浜松ホトニクス)
• モデリング／シュミレーションWG「M&Sによるデバイス開発加速　−デバイス・材料モデリングと計算パワーで推進−」
  麻多　進　(WG10リーダー：NECエレクトロニクス)

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