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半導体技術ロードマップ2008年版
STRJワークショップでの講演スライドがご覧になれます。
3/5 STRJ WS 1日目
International Roadmap Committee (IRC) ITRS 2008の概要
石内 秀美 (STRJ委員長: 東芝)
設計WG「SOCの低消費電力設計技術の課題と解決策−設計生産性向上との両立に向けて−」隅谷 三喜夫 (WG1リーダー:パナソニック)
テストWG「LSI多様化へのテストの挑戦 〜品質とコストのバランスを目指して〜」
佐藤 康夫 (WG2リーダー:日立製作所)
ES&H WG「ITRS2009改定に向けて」
大越 隆之(WG9リーダー:NECエレクトロニクス)
特別講演「これからの化学物質規制の見通し」
大歳 幸男(環境情報コミュニケーションズ)
特別講演「設計技術から見た半導体集積回路の省電力技術」
高宮 真(東京大学)
特別講演「環境・エネルギー問題について −半導体製造装置業界の一員として−」
井深 成仁(東京エレクトロン)
Front-End Processes(FEP)WG「MOSFETの性能向上に結びつく要素技術の開発を目指して」
北島 洋(WG3リーダー:NECエレクトロニクス)
Process-Integration and Device Structures(PIDS)WG「ロジック 及び、メモリデバイスのスケーリングトレンド〜高性能(HP)デバイススケーリングの鈍化」
尾田 秀一(WG6リーダー:ルネサステクノロジ)
Emerging Research Devices(ERD)WG「Beyond CMOS候補の分類と評価」
平本 俊郎(WG12リーダー:東京大学)
Emerging Research Materials(ERM)WG「新探究材料 −カーボンベースナノエレクトロニクスを中心に−」
酒井 忠司(WG13:東芝)
3/6 STRJ WS 2日目
故障解析技術タスクフォース「故障診断技術動向:大量診断について」
則松 研二(故障解析TF:東芝)
モデリング/シミュレーションWG「モデリング&シミュレーションの現状と経済的効果」
佐藤 成生(WG10リーダー:FML)
メトロロジーWG「今後の計測技術の動向」
河村 栄一(WG14リーダー:FML)
リソグラフィWG「先端リソグラフィ技術 − 現状と課題 −」
東川 巌(WG5リーダー:東芝)
配線WG「More Moore〜微細化の深耕〜とMore than Mooreへの展開」
柴田 英毅(WG4リーダー:東芝)
実装WG「先端パッケージ技術 −More Than Mooreを実現するSiP技術−
春田 亮(WG7リーダー:ルネサステクノロジ)
歩留向上WG「飽くなき歩留向上をめざして -ウェーハ表面汚染低減に向けた超純水への期待-」
白水 好美(WG11リーダー:NECエレクトロニクス)
FI WG「生産性向上へ向けての無駄の指標化 〜Waste Reduction Management(WRM)〜」
谷 博道(WG8リーダー:FML)